等离子体用于材料表面改性
主要有以下几个方面：改变润湿性（又称浸润性）。一些有机化合物表面的润湿性对颜料、墨、粘结剂等的粘结性，对于材料表面的闪络电压及表面漏泄电流等电性能，都有很大的影响。衡量润湿性的量称为接触角。表1中列出一些材料的不同处理对接触角的影响。增强粘附性。用等离子体活化气体处理一些聚合物及金属之后，生产碎玻璃清洗机，可使材料与粘附剂的结合强度得到加强。
等离子体沉积薄膜
用等离子体聚合介质膜可保护电子元件，用等离子体沉积导电膜可保护电子电路及设备免遭静电荷积累而引起损坏，碎玻璃清洗机，用等离子体沉积薄膜还可以制造电容器元件。在电子工业、化学工业、光学等方面有许多应用。等离子体沉积硅化合物。用sih4+n2o〔或si(oc2h4)+o2〕，制成sioxhy。气压1～5托（1托≈133帕），定做碎玻璃清洗机，电源13.5兆赫。氮化硅沉积用sih4+sih3+n2。温度300℃，沉积率约180埃/分。非晶碳化硅膜由加含碳的共反应剂得sixc1+x：h，x是si/si+c比例。硬度大于2500千克/毫米2。
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